韻申科技：硅碳負極CVD反應裝置供應商
韻申科技成立于2012年，公司總部及研發(fā)中心位于上海，技術和研發(fā)實力雄厚，是國家“高新技術企業(yè)”、上海市科技型“小巨人”企業(yè)、上海市“專精特新”企業(yè)。
公司專業(yè)服務于中國高速發(fā)展的新能源材料、半導體材料、半導體工程等新興高科技產(chǎn)業(yè)，致力于為其提供“高溫度、高潔凈、高集成”的硅基關鍵產(chǎn)品，為泛半導體（新能源（光伏、鋰電池）、平板顯示、光纖、集成電路）行業(yè)提供關鍵高純原材料解決方案。產(chǎn)品涵蓋硅基CVD核心反應器、高溫晶體爐及高純硅基特氣&硅基前驅體材料系統(tǒng)集成一站式工程解決方案，是一家集研發(fā)、設計、制造為一體的綜合性科技公司。
公司在江蘇鎮(zhèn)江設立制造基地，占地100畝，擁有萬級、千級和百級潔凈室共1000㎡，十萬級潔凈區(qū)10000㎡。制造基地配備18MΩ電阻值超純水間，擁有氧分析儀、水分析儀、顆粒檢測儀、氦檢儀等檢測設備，滿足客戶極低泄漏及水氧測試要求。致力于為高純硅原料、晶圓廠、LED光纖、電子材料及精細化工等領域提供核心設備及超高純流體系統(tǒng)工程解決方案，系統(tǒng)解決方案涵蓋設計、選型、制造、安裝和測試等服務。
硅碳負極CVD反應裝置示意圖
該業(yè)務服務范圍：CVD反應器裝置
CVD設備設計/CVD設備制造/CVD系統(tǒng)設計/CVD系統(tǒng)制造
規(guī)劃設計：產(chǎn)能規(guī)模、工藝路線、園區(qū)屬性、地域選址
原料裝置：硅烷路線、碳源路線、氮氣路線、多孔碳路線
尾氣處理：實驗尾氣、中試尾氣、量產(chǎn)尾氣、回收尾氣
安裝調試：氣站EPC、現(xiàn)場CVD系統(tǒng)、電儀自控系統(tǒng)
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